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Fundamental aspects of ultrathin dielectrics on si-based de
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- Editora: Springer Nature
- Ano: 1998
- ISBN: 9780792350071
- Fundamental aspects of ultrathin dielectrics on si-based de
Descrição: An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of A... Veja mais